二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9300224 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是一種晶圓測試和計量設備，設計用於可靠和準確的測量。它使用強大的軟件和硬件對半導體晶片的物理特性進行高分辨率測量。該系統可用於半導體晶片薄膜的破壞性和無損性測試。對於無損測試，KLA Alpha Step 500使用共焦衍生成像（CDI），產生晶圓表面的三維圖像。CDI圖像允許精確測量和了解1nm以下的表面地形。為了進行破壞性測試，采用壓電顯微鏡（PFM）對晶片結構進行成像，並測試薄膜應力。PFM使用納米級懸臂尖探針與樣品曲面交互,並創建晶圓頂面下方各層的圖像。必須進行應力測量,以確保重要電路和電子元件的結構完整性。TENCOR ALPHASTEP 500使用兩種不同的掃描探針顯微鏡（SPM）技術測量薄膜應力。當尖端被壓入曲面時,兩種技術都測量樣品尺寸的變化。通過這些測量，可以確定樣品的應力應變特性。ALPHASTEP 500也非常適合滿足計量後分析和評審的全球行業標準。該單元執行各種任務，包括隔離和識別產品特性，同時分析和報告多個測試的結果，以及對晶片曲面執行自動檢查和分析。最後,KLA ALPHASTEP 500提供業界領先的性能、準確性和可靠性。它具有高分辨率圖像捕獲機、易於使用的直觀軟件和自動掃描功能,可確保在較長時間內進行準確可靠的測量。