二手 KLA / TENCOR Alpha Step D-100 #293607100 待售

KLA/TENCOR Alpha Step D-100是一種設計用於半導體生產和納米技術開發的高性能晶圓測試和計量設備。該系統能夠對100 nm分辨率的各種樣品類型進行2D光學檢查和計量。該單元配備了定位精度為5µm的精密XY級，允許大面積的高分辨率成像。這個XY級由先進的5軸傾斜/旋轉電動平臺補充，使復雜的納米結構得以詳細檢查。該機器包括專有的X射線激光晶片測試技術，允許無機和有機材料的精確成像。這項技術是基於對X射線向采樣材料發射時發出的原子的分析，然後對其進行分析以產生樣品的圖像。KLA Alpha Step D-100包括了廣泛的成像工具，如表面地形和缺陷分析。此工具具有評估曲面紋理、曲面缺陷和其他幾何形狀的能力,放大倍數可達2000倍。這些圖像可用於缺陷分析和亞微米特征的精確測量。該資產還配備了一個4端口數字計量站。該站具有高性能、高精度的線性刻度，能夠測量直線和曲線特征。該站還配備了一個高精度數字探針，通過在被測量坐標和中央計算機之間集成自動數據傳輸，大大縮短了數據處理時間。最後，TENCOR Alpha Step D-100還有一套用於數據分析和報告的軟件工具。此軟件套件專為廣泛的應用而設計,包括現場檢查、過程開發和最終產品測試。這提供了以盡可能高的準確性生成詳細報告的靈活性,並允許對數據進行自定義分析。綜上所述，Alpha Step D-100是一種先進的晶圓測試和計量模型，能夠對納米級的材料進行快速和準確的成像。該設備包括專有的X射線技術、廣泛的成像工具、4端口數字計量站以及用於數據分析和報告的軟件工具。