二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #193091 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是為半導體工業設計的晶圓測試和計量設備。該系統允許晶片上和獨立測量,從而使用戶能夠確定晶片的輪廓參數。使用雙聚焦光頭，該單元提供快速、高精度的測量。光頭同時測量兩個平面，顯著減少了測量時間。KLA Alpha Step IQ具有用於晶圓垂直運動的電動z級。這使機器能夠在廣泛的深度範圍內進行非接觸測量。該工具具有獨特的光學探測器組合，具有集成的自動準直器和非接觸式光學顯微鏡。前者提供低至一微米的測量值，後者可實現高達幾毫米的測量值。TENCOR ALPHASTEP IQ提供晶圓表面的三維測量，從而能夠測量輪廓的高度、寬度和角度。資產能夠檢測小特征，如狹窄的山脊或深谷。此外，該模型還具有支持晶圓對稱和剖面測量的特點。用戶友好的用戶界面允許輕松操作ALPHASTEP IQ。該設備是完全自動化的,可節省多達500次標準測量。它還有一個強大的分析軟件GraphScheme，可以在幾分鐘內解釋收集到的數據。除了晶片測試外，KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ還具有極紫外線（EUV）掩模檢測和模具（DBD）檢測等計量學特征。DBD檢查檢查晶片上的每個模具是否有缺陷,從而可以更精確地進行晶片表征。EUV掩模檢查可幫助用戶進行光掩模制造,因為它可以檢測和測量掩模圖樣中的缺陷。Alpha Step IQ還配備了幾個安全功能，如自動虹膜監控和電源安全窗口。其業界領先的設計確保系統以最小的停機時間運行。總體而言，KLA ALPHASTEP IQ是晶圓測試和計量的強大工具。它為用戶提供了更高的準確性和速度,以提高效率和節省時間。