二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #193355 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一個晶圓測試和計量平臺，能夠在廣泛的設備幾何形狀上對樣品進行無損表征。它具有高分辨率、低噪聲掃描平臺,具有多種自動化功能,可精確測量特征邊緣和輪廓特性。設備使用光學散射法測量樣品特征的形狀和大小。然後對捕獲的圖像進行數字分析,以提供有關樣本尺寸的詳細信息。KLA Alpha Step IQ能夠對光伏面板和MEMS傳感器等關鍵設備進行調查，並通過光學散射法全面表征步驟、溝槽和病毒。自動晶圓對準和參考校準使系統成為多步計量和缺陷檢測的理想平臺。它提供定性和定量分析,包括3 D輪廓映射、厚度測量和電場模擬。通過強大的數據采集和分析工具相結合，TENCOR ALPHASTEP IQ可以提供廣泛的分析能力。TENCOR Alpha Step IQ融合了高速HeNe激光和多個光學探測器，提供了無與倫比的靈敏度和分辨率。其高精度的X/Y/Z級和先進的機動化成像功能允許對尺寸不超過200 mm的樣品進行成像和分析。它還可以一次容納多達6個樣品用於高通量樣品處理。此外,它還提供多種操作模式,包括基準測試模式和自動化模式。Alpha Step IQ是高度可定制的,使研究人員能夠根據其特定要求定制該單元。KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ具有直觀的用戶界面和強大的軟件開發工具,為設備分析提供了理想的平臺。該機器還與標準的LabVIEW軟件兼容，方便地集成到現有的實驗室流程中。綜上所述，KLA ALPHASTEP IQ是一個先進的晶圓測試和計量平臺，允許對樣品進行無損表征，提供定性和定量分析。該工具的高速激光系統和卓越的成像能力使其成為多步計量和缺陷檢測的理想平臺。ALPHASTEP IQ憑借其可自定義的功能、強大的數據采集和分析工具以及標準的LabVIEW兼容性,使研究人員能夠根據自己的特定需求定制其資產。