二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293593018 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一種晶圓測試和計量設備，提供跨晶圓表面的電氣性能的自動化、高通量測量。系統集成的硬件和軟件套件使用戶能夠減少流程優化時間,同時提高晶圓質量。KLA Alpha Step IQ平臺的硬件組件包括計量階段、成像模塊、靜電卡盤和各種光源。舞臺設有高精度運動控制單元，用於樣品表面的精確掃描。集成成像元件是一種具有自動調焦和波長控制功能的高精度光學顯微鏡。靜電卡盤為晶片測試提供了精確、均勻的電氣環境。而光源設計有選擇地檢測晶圓表面的電性能或地形特征。TENCOR ALPHASTEP IQ的測量工具套件的測量/測試/檢查步驟有助於快速識別過程偏移,並使用戶能夠排除過程問題。它支持廣泛的2D和3D計量技術，包括電氣、殘余電荷成像（RCI）、光譜反射成像（SRI）和原子力顯微鏡（AFM）。在電氣計量應用中,其工具套件可實現高分辨率晶體管通道長度和柵極寬度測量、接觸片電阻（CSR）測量和片材電阻映射（SRM）,以及電流電壓（IV）和電容電壓（CV）測量。該軟件套件旨在自動化和簡化晶圓制造過程。它包含一套算法和軟件例程，便於執行計量例程，如數據采集、分析和報告生成。此外，該軟件還具有一套先進的模式識別和分析算法。這使機器能夠快速檢測過程像差,即使樣品的大小、形狀或電氣特性有所不同。此外,Alpha Step IQ平臺還提供連接選項,包括基於以太網的連接、用於電壓或電流輸出的模擬端口以及用於圖像的脈沖輸出,從而使用戶能夠靈活地將該工具與任何自動化或機器人技術平臺集成在一起。為了進一步擴展資產的功能，用戶可以添加可選模塊，如單個晶圓分光光度計。總體而言,KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ是一種先進的晶圓測試和計量模型,可提供高吞吐量、準確性和可靠性。其全面的硬件和軟件組件使晶圓制造設施能夠縮短工藝優化時間並優化工藝性能。