二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293610543 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一種經過優化的高通量晶圓測試和計量設備,可確保高效測試、過程控制和設備表征。該系統提供了高級檢查功能,同時通過提供一系列模式的準確、可重復和可跟蹤的測量來保持強大的制造能力。KLA Alpha Step IQ最多包含兩個獨立的處理室和高級軟件算法，以實現對設備地形的快速準確測量，如臨界尺寸和線/空間寬度。該裝置提供了對各種工藝步驟的快速和可靠的檢查，包括光刻、蝕刻和薄膜沈積。利用先進的光學顯微鏡，TENCOR ALPHASTEP IQ可以比常規光學顯微鏡更高的精度和速度測量表面粗糙度、蝕刻深度、CD均勻度、抗厚度和線條/空間寬度。鏡像診斷和成像用於確保最高保真度測量。TENCOR Alpha Step IQ結合了無鉻計量模式,實現了臨界尺寸的無與倫比的重復性和準確性,即使在具有挑戰性的芯片設計上也是如此..應用於檢查和分析數據的高級軟件算法有助於保持嚴格的CD規範。該機還包括光學覆蓋測量，以確保高度精確的過程控制。除了這些功能外,KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ還提供高級報告功能,包括一系列圖形和顯示選項,以確保完整了解流程的結果。通過使用統計過程控制，工具可以識別個別過程偏差並分析整個過程，提供快速隔離、研究和應對潛在過程問題的手段。總之，Alpha Step IQ是一種先進的晶圓測試和計量資產，為晶圓處理和器件表征提供了高效、準確、可靠的方法。該模型提供了從臨界尺寸和線/空間寬度到表面粗糙度、蝕刻深度和抗厚度等一系列陣列的快速、準確的測量。高級軟件算法有助於維護嚴格的CD規範,並且分析整個過程有助於快速識別和響應潛在的過程問題。