二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293647760 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一種自動化晶片測試和計量設備，設計用於檢查和測量半導體晶片上的納米尺度特征。KLA Alpha Step IQ結合了3 D光學顯微鏡、共聚焦顯微鏡、臨界維度掃描電子顯微鏡（CD-SEM）、圖像分析工具等眾多功能，實現了快速、準確、可重復的晶片檢測過程。該系統非常適合處理各種晶片類型和尺寸，包括300 mm和200 mm直徑的介電和光學顯微光刻晶片。集成的3D光學顯微鏡可捕捉尺寸小於5nm的特征圖像,而共聚焦顯微鏡可捕獲尺寸小於3nm的特征。此外,CD-SEM能夠測量臨界尺寸（CD）和材料均勻性,並具有高精度和重復性。該單元還提供了一套功能強大的軟件工具來補充其晶圓檢測能力。軟件套件包括多種高級圖像處理算法、增強的缺陷分析工具和圖像縫合功能。這些工具旨在最大限度地減少分析數據所需的時間,並提高用戶的準確性和生產率。TENCOR ALPHASTEP IQ還具有許多自動化功能,旨在使晶圓檢測更加容易。自動光學導航使掃描圖像之間的導航速度更快、效率更高。自動校準確保每個成像步驟都能達到峰值精度。此外,「自動光束檢測」和「自動對焦」功能可確保每個圖像自動準確、徹底聚焦。ALPHASTEP IQ也可以定制到特定的晶圓，為用戶提供最大的靈活性。可自定義的軟件設置允許用戶根據自己的特定要求優化計算機。這使得KLA ALPHASTEP IQ成為精密晶圓檢測和測量應用的理想選擇。