二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293671815 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一種晶圓測試和計量設備，用於三維光學檢查。它由高精度和高精度步高測量模塊、高速全場光學顯微鏡和具有先進缺陷檢測、缺陷分類和過程監控分析算法的模式識別模塊組成。該系統設計用於檢查半導體晶片和基板上的全場、地形和光學臨界缺陷。全場光學顯微鏡由高分辨率、高靈敏度立體攝像機、低噪聲CCD檢測單元和高精度自動定位機組成。這種組合工具可以準確地捕捉晶圓表面的地形和缺陷圖像。它還可以檢測和分析高分辨率探針和納米探針，以進行額外的計量測量。高精度和高精度步高測量模塊以極高的精度和精確度測量晶圓的剃須刀薄表面地形。此模塊Inch可以檢測晶圓表面上的微小顛簸和加工工件,從而確保高度的過程/產品控制。此外，這一資產能夠測量材料特征的高度和橫向尺寸，這些特征對於微電子設備制造過程至關重要。模式識別模塊采用先進算法對缺陷進行檢測和分類。此外,此模塊還可以自動測量關鍵過程參數,以進行過程監控和表征。該模型可以檢測和分類顆粒、劃痕、微短褲等物理缺陷。此外，模式識別模塊還能夠分析晶體缺陷、分層、氧化和提升殘留物等缺陷的獨特光學特征。KLA Alpha Step IQ能夠測量扁平晶片的地形特性以及具有廣泛地形剖面的復雜地形模式，如晶圓弓和晶圓傾斜。此外,設備還能夠執行非接觸式計量測量,如特征大小、長寬比和地形。它還能夠測量晶片的反射率、透射率和折射率等光學特性。總體而言，TENCOR ALPHASTEP IQ是一種先進的晶圓測試和計量系統，與同級別的系統相比，提供了更高的準確性和性能。其精度、精度和缺陷檢測能力使其成為半導體制造的理想選擇。