二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293682500 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一種先進的晶圓測試和計量設備，能夠測量晶圓表面特征，具有無與倫比的精度和可重復性。在其核心，KLA Alpha Step IQ依靠尖端專利技術將晶片通過掃描床傳輸，然後利用其激光器檢查和繪制到納米級的表面特征。光電二極管用於測量來自每個測量點的反射，以確定晶圓表面的地形。這種光電二極管測量用於構建晶圓表面的3維「輪廓」圖。這張輪廓圖以全面和高度詳細的方式表示晶圓的形狀和表面地形。該系統能夠測量各種晶圓表面特征，包括步高、輪廓、曲率半徑、坡度和平坦度。這些測量的準確性非常高,在大多數應用中,可重復性通常優於0.5nm。使用高度先進的電子和光學設備,TENCOR ALPHASTEP IQ單元可實現極快的掃描-通常只需幾秒鐘即可完成整個200 mm晶圓的測量-從而實現快速吞吐量和過程反饋。該機器還提供了強大的內置分析功能,可輕松對不同晶圓批量的過程結果進行復雜的統計分析。此外,離線分析工具也可用於進一步優化流程。最後,Alpha Step IQ包括各種配件,包括專用夾具和探測臂,使測量技術具有靈活性,並與當今大多數晶圓測試和計量設備兼容。總體而言,ALPHASTEP IQ是一種通用且高性能的晶圓測試和計量工具,能夠提供高精度的測量並提供無與倫比的過程優化功能。