二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9135156 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一種先進的晶圓測試和計量設備，設計用於半導體制造中的過程監測和分析。它將光學成像與多個傳感器相結合，以快速識別和測量關鍵制造節點上晶片上的各種缺陷。KLA Alpha Step IQ系統將硬件和軟件組件集成到一個軟件包中，為高吞吐量的大型生產批量提供全面的分析能力。該單元包括一個運輸和固定晶片到位的自動處理平臺，一個捕獲缺陷圖像進行分析的光學傳感器陣列，以及一個用於控制機器功能的集成電子封裝。TENCOR ALPHASTEP IQ配備了精選的高級圖像處理算法，使得晶圓上的二維缺陷能夠全自動檢測和分類。該工具可以識別參數化的不規則性，如晶圓上的步長不穩定性、臨界尺寸（CD）誤差和缺乏均勻性。它還對晶片特征進行分類,並計算測試部件的故障概率（POF）。TENCOR Alpha Step IQ還提供了現代半導體制造所需的生產監控能力。它可以與實時缺陷反饋集成,並可以實時監控流程的性能,從而提供跨流程節點的流程穩定性信息。利用此功能,資產可以幫助確保從一個晶圓到另一個晶圓的最佳產品質量,從而降低生產成本並提高產量。總體而言,Alpha Step IQ模型是現代半導體制造的寶貴工具,可為制造商提供缺陷篩選、過程監控和計量方面的高級功能。它代表了優化生產成本、過程控制和產量的強大解決方案。