二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9205705 待售
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ID: 9205705
Surface profiler
P/N: 0051047-000
Manual is loaded on the PC
Power: 110 V, 50/60 Hz, 1 Phase
CE Marked.
KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一種高性能晶片測試和計量設備,設計用於測量微芯片晶片的關鍵電氣和物理參數。系統使用專有的測量算法來實現高精度和超低不確定性。該設備使用高分辨率成像機檢查高達3400 dpi的2D和3D格式。這使工具能夠提供有關微芯片的表面結構和地形的詳細信息。該資產還包括一臺先進的光學顯微鏡,允許操作員以高放大倍數、逐個像素的方式查看樣品。高級自動化分析工具提供板載數據分析,包括用於實時流程優化的圖形和數值趨勢分析。機器視覺檢查會自動檢測晶圓結構中的異常,並報告關註的領域。KLA Alpha Step IQ包含高速晶圓映射模型,使不同批次的多個晶圓可以同時測試。與單晶片測試相比,這允許增加輸出,測試時間減少到一小部分時間。它還提供了連接網絡中多個系統的範圍,允許多個運營商與一臺設備一起工作,監測所有系統的進度。可以存儲從測試過程的眾多步驟中收集的數據,並用於生成深入的報告,以便對晶圓測試進行更詳細的分析。該系統還配有一系列附件,如氣體處理系統、溫度探針和熱管理工具。這些保證了測量參數的準確性和可靠性得以維持,任何偏離工藝流程的情況都可以迅速糾正。TENCOR ALPHASTEP IQ是第一個獲得Semes認證的符合嚴格SEMI C57標準的測量單元,確保質量標準和晶圓測試可靠性。這一認證是精心研究、開發和工程的結果,證明了這臺晶圓測試和計量機器的先進測試能力。
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