二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9229842 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是為半導體納米光刻的高級工藝控制而設計的先進晶圓測試和計量設備。它具有許多強大的功能，可確保滿足現代半導體制造工藝所需的質量水平。KLA Alpha Step IQ是一個基於成像的系統，允許用戶創建具有納米分辨率的完整晶圓表面的圖像。它利用高NA（數值孔徑）光學器件，在專門的光束傳遞和成像附件的幫助下，檢查晶圓的頂部和底部表面。該單元可以檢測到各種各樣的特征，從亞微米特征到較大的溝槽和其他結構。掃描頭由一個X-Y伺服控制的電動機級移動，這為用戶提供了令人印象深刻的測量和分析各種晶圓幾何特征的能力。機器能夠測量大量與晶圓表面相關的關鍵指標，包括長寬比、臨界尺寸、線寬粗糙度、側壁角度等等。然後可以通過用戶界面以圖形方式顯示這些數據點,或用於創建晶圓曲面的3D映射。還提供高級分析，可以檢測高度、角度和其他特征的亞微米變化。許多附加功能使TENCOR ALPHASTEP IQ成為真正強大的晶圓測試和計量工具。可以使用後處理選項（包括基於地圖的分析和自動對焦）增強映像功能。此外,還可以捕獲和存儲圖像數據以進行後分析。資產還包括自動晶圓對準功能,以提高精度。總體而言，KLA ALPHASTEP IQ是一個高度先進的晶圓測試和計量模型，是過程控制和半導體納米光刻的理想選擇。它提供了強大的成像和分析特征組合,使其能夠檢測各種晶圓幾何上的各種特征。此外,它的自動對齊功能和後處理選項增加了分析的精確度和準確性。