二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9361397 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一種晶圓測試和計量設備，設計用於提供晶圓表面上薄膜的高精度測量。該系統基於獲得專利的雙波長幹涉儀設計，可精確測量圖案化或非圖案化晶片上的低折射率和高折射率薄膜。KLA Alpha Step IQ采用專利雙波長光學幹涉技術，結合兩個近紅外波長測量亞納米膜厚度。該單元針對包括電介質、光刻膠、抗反射塗層、金屬薄膜等不同類型的薄膜進行了優化。與傳統的接觸計量技術相比，TENCOR ALPHASTEP IQ具有重要的優勢，因為它產生了非常精確的非接觸分析。機器的Process Monitor Mode（工程監視器模式）提供晶圓表面的實時檢查,識別任何缺陷或偏差。TENCORalphaStepIQ噪聲低、精度高，也是檢測微量汙染、剖面粗糙度的理想選擇。Alpha Step IQ提供卓越的重復性、晶片到晶片以及刀具到刀具。這使用戶能夠獲得一致的測量結果,從而無需頻繁校準。這樣可以減少檢查的時間和成本,同時保持高精度的測量。該工具是一個通用的晶圓測試平臺，提供了一系列的開發、分析和審查功能，為用戶提供了極致的靈活性。KLA ALPHASTEP IQ可以提供3D線輪廓、臨界閾值曲線和缺陷表征報告。這些功能使用戶能夠快速診斷設備問題並優化其制造過程。ALPHASTEP IQ是一種緊湊的工具，設計用於實驗室環境以及生產線環境中的操作。它是測量薄膜的經濟高效的資產,具有獨特的設計和高級組件,使其成為可靠、可靠、準確的晶圓測試和計量平臺。