二手 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9361399 待售

KLA/TENCOR Alpha Step IQ是一種晶圓測試和計量設備，旨在滿足半導體行業的嚴格要求。它將先進的光學和光學裝配與硬件加速算法相結合，以實現光學元件的快速、準確和可重復的計量。它以先進的軟件和硬件為基礎，由高速成像系統、光學優化計量算法和專利光學幹涉測量單元組成。該平臺提供晶圓的三維地形圖像，能夠快速檢查半導體晶圓表面。晶片的最大尺寸為200 mm,跨越晶片的步長可達16,000步,成像分辨率為1nm或更高。正在申請專利的幹擾機器能夠測量低至1nm的特性，采樣分辨率為0.5nm/步。光學組件包括一個光柵工具來產生幹涉圖樣，用於對具有不同材料或地形的晶片進行高對比度成像。這樣可以更好地檢測小特征和曲面。KLA Alpha Step IQ提供高級分析和報告功能,最多可執行16,000個步驟,支持更集中的數據和自動校準/對齊。它的自動對齊能力能夠精確控制成像參數，其報告能力為精確計量和微米級分辨率提供了廣泛的分析。其完整的圖形用戶界面為自定義分析提供了簡單直觀的設計。TENCOR ALPHASTEP IQ包括先進的光學、光學組裝和成像系統，也提供實時反饋以隨時間調整參數。它由一個功能強大的軟件包控制，帶有嵌入式實時操作資產來管理數據收集、分析和報告生成。該軟件是可自定義的,為數據管理提供了多種分析工具。KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ平臺的設計旨在確保計量的精確度和準確性,從而提高半導體器件制造的效率和更快的周轉時間。它為高級設備設計提供了可擴展的性能,提高了制造產量的潛力,並保證了更高的可靠性。該產品適合用於各種材料和基材,使半導體設備工程師能夠獲得有效設計和優化所需的信息。