二手 KLA / TENCOR ASET F5 #293605775 待售

KLA/TENCOR ASET F5是一種晶圓測試和計量設備，設計用於集成電路的高通量和精確分析。該系統能夠進行光學檢查、缺陷審查和各種其他測試。KLA ASET-F5旨在最大限度地提高高容量晶圓廠和先進半導體器件制造設施的產量。該單元采用了最新的技術，如TruMap光學檢測機和AlphaStep Surface Metrology。TruMap工具使用高分辨率光學器件來「捕捉」晶片，允許缺陷檢測和識別頂級和高寬高比缺陷。TruMap還允許非常高效的缺陷審查過程。AlphaStep Surface Metrology測量物理參數,如電阻率和板材電阻。它以非破壞性和非接觸的方式做到這一點，提供了晶圓特征模式的更準確的表示。該資產能夠在晶圓電阻率和薄片電阻的測量之間切換，從而提供了更大的靈活性和準確性的機會。TENCOR ASET F5型號還包括用於缺陷審查的高分辨率成像設備。該系統允許快速檢查和識別缺陷。該單元包括窄帶成像、線掃描成像、全晶圓映射和缺陷取向映射等特征。所有這些功能為用戶提供了晶圓及其表面的完整視圖。該機還具有高精度的產量監控工具。此資產可逐個過程監控收益,並可提供設備上任何潛在故障或問題的預警。產量監測系統對於維護和優化流程以確保高產量和設備質量非常寶貴。最後，ASET-F5型號還包括一個安全事件記錄器。該記錄器可用於保存所有晶圓測試和計量操作的記錄，允許用戶追溯任何設備或工藝問題，並確保只生產質量設備。綜上所述，KLA/TENCOR ASET F5是一種晶圓測試和計量設備，設計用於集成電路的高通量和精確分析。它利用最新的技術,具有TruMap光學檢查、AlphaStep Surface Metrology、高分辨率成像和安全事件記錄器等功能。該系統為實現高產量和設備質量提供了一個全面的平臺,使制造商能夠最大限度地提高大批量晶圓鑄造廠的產量。