二手 KLA / TENCOR ASET F5 #293812633 待售

KLA / TENCOR ASET F5
ID: 293812633
晶圓大小: 8"
Thin Film measurement system, 8".
KLA/TENCOR ASET F5是KLA設計制造的先進而全面的晶圓測試和計量設備。它配備了高分辨率成像和光學顯微鏡,允許對晶片表面進行高級檢查,並對晶片特性進行高級測量,以滿足現代半導體制造工藝的不同要求。KLA ASET-F5系統包括幾個關鍵組件,如用於自動掃描和檢查的多軸級、用於成像和計量的動態光學夥伴、用於控制焦點深度的自動對焦單元以及用於測量晶片3D形狀的幹涉儀。集成軟件包使控制機器變得容易,並允許用戶快速分析和檢查晶圓。該工具還具有一個晶圓矢量模塊,該模塊允許向量數據導出到外部系統,從而能夠映射晶圓上的缺陷。該資產允許結合光散射技術和暗場技術來檢測各種缺陷,包括外來粒子、位錯和地下破壞。此外,TENCOR ASET F5還具有多種圖像處理工具,可用於識別和隔離缺陷,從而實現快速準確的分析。KLA/TENCOR ASET-F5還包括一個強大的數據管理模型,它允許結構化存儲和檢索晶圓相關數據。設備存儲各種數據,包括晶圓幾何形狀、材料屬性和晶圓特定結果。可以根據用戶定義的標準對數據進行分析和分析以生成報告。然後可以使用該報告就晶圓以及如何最好地進行決策做出明智的決定。最後,系統配備了與平臺無關的接口,使其與廣泛的組件和接口類型兼容。這允許用戶將KLA/TENCOR ASET F5單元整合到他們現有的生產線中。該機還具有各種用戶友好的功能,如定制的溫度控制和各種層次的自動化,使其用戶友好且易於在任何環境中使用。總體而言,KLA ASET F5是現代半導體制造工藝先進而全面的測試和計量的絕佳工具。該資產包括幾個關鍵組件和一個功能強大的數據管理模型,可以輕松分析數據並與其他系統無縫集成。平臺不可知界面使其與廣泛的元件和界面類型兼容,使其成為任何生產線的合適選擇。
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