二手 KLA / TENCOR ASET F5 #293814192 待售

KLA / TENCOR ASET F5
ID: 293814192
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR ASET F5是一種用於半導體生產的自動化晶圓測試和計量設備。該系統旨在提供快速的吞吐量和對各種晶圓參數的準確分析。它在半導體工業中被廣泛采用,因為它能夠在最小的工作量和用戶幹預下可靠地並行處理多個晶片。KLA ASET-F5利用具有集成光學模塊和CCD攝像機的幹涉儀精確測量一系列參數,包括晶圓薄度、厚度變化、平面度、平面度、共面度、經度、甚至圓度。它還包括一個可用於檢查晶片表面缺陷的表面成像單元。該機器設計用於在短時間內快速測量大量晶片。可以將不同尺寸的晶片加載到工具上,並且可以自定義檢測率以減少批次間的停機時間。該資產還具有自動晶片處理模型,可以將晶片加載到設備或卸載,而無需操作員幹預。TENCOR ASET F5能夠分析各種各樣的晶圓類型和材料。它可以精確測量具有不同背景、材料和結構的晶片,包括石英晶片、矽晶片、高溫過渡金屬晶片等。它還帶有各種可調參數,可用於優化不同類型晶圓的測量。系統還有一個集成的軟件套件,使用戶能夠控制單元,創建定制的測量計劃,並分析結果。使用此軟件,用戶可以輕松創建自定義報告,使他們能夠分析晶圓參數的趨勢並跟蹤不同生產批次的性能。此軟件還允許遠程訪問以進行遠程監視或控制。總體而言,ASET-F5旨在以快速、高效的方式對各種晶片進行精確、自動化的測試。其自動化的晶圓處理機、通用的檢測率設置、集成的軟件套件,以及測量各種晶圓類型的能力,使其成為半導體行業生產線強大可靠的工具。
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