二手 KLA / TENCOR ASET F5 #293825602 待售
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ID: 293825602
晶圓大小: 8"-12"
優質的: 1999
Film thickness measurement system, 8"-12"
Wafer holder and chuck
Robot and handler
Laser
Blower unit
Card cage and board
Cassette type: F5W
PC
1999 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5是一種晶圓測試和計量設備，設計用於在極小的水平上測試晶圓性能。它結合了先進的AFM（原子力顯微鏡）和電氣測試能力，提供了關鍵設備參數的全面視圖。該系統能夠檢查10 nm分辨率範圍內的功能,並配備了一整套集成測試解決方案。KLA ASET-F5單元提供了幾個主要功能,使其能夠提供高精度的性能結果。這些功能中的第一個是高級成像功能,它使機器能夠在微觀層面上拍攝清晰詳細的特征圖像。成像工具使用了廣泛的AFM探針，包括可變聚焦、全向和動態掃描探針，以確保一系列應用的最佳圖像質量。成像資產的高分辨率也允許進行高度敏感的測量。TENCOR ASET F 5還包括強大的電氣測試功能，包括廣泛的電壓、電流、電阻和電容測試。先進的電氣測試模型結合了硬件、軟件和校準工具，以確保評估晶圓性能的準確可靠的結果。在磨損和汙染測試方面，設備提供了高度可重復的結果。它能夠檢測肉眼看不見的缺陷，也可以在集成TDR（時域反射儀）跡線上測量小至10um的接觸探針的作用力。該系統還具有先進的粒子分析功能，允許用戶檢測和識別低至2nm的粒子，並評估粒子汙染對環境的影響。TENCOR ASET-F5設計用於作為獨立單元自動運行或與其他系統集成。它采用具有可調超時設置的RS-232通信協議。該機操作範圍廣泛，為0至50°C，可通過可選的動力冷卻模塊實現超過15小時的不間斷運行。TENCOR ASET-F 5是一種功能強大且全面的晶圓測試和計量工具,可提供廣泛的成像和電氣測試功能,用於晶圓性能評估。它的自動操作以及強大的AFM和電氣測試功能使其成為從半導體和材料科學到研發等一系列行業的理想選擇。
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