二手 KLA / TENCOR ASET F5 #293827457 待售

KLA/TENCOR ASET F5是為半導體生產線使用而設計的晶圓測試和計量設備。它可以快速準確地測量、檢查和分析直徑最大為12英寸的晶片的性能。該系統提供了一套技術、流程和軟件程序，以提高測試和計量操作的潛在準確性和靈活性。從基板級別到單個設備檢查和特性鑒定,KLA ASET-F5在吞吐量和準確性方面都提供了無與倫比的性能。其晶圓檢測和計量能力包括：高NA 3D光學和CD-SEM能力，用於模式識別技術的OBIRCH（光束感應電阻變化）和低k介電層計量。TENCOR ASET F5利用KLA專利的X掃描技術從晶圓樣品中捕獲圖像，即使在最惡劣的環境條件下也能產生更好的重復性。該單元還配備了高端光學封裝和最新軟件，提供精確的成像和精確的3D重建。此外，該機具有精確的自動化，以確保可靠的晶圓處理和清潔的氣體註入外殼，以維持ISO級4潔凈室條件。該工具還具有雙級樣品定位資產，用於精確對準和樣品安裝，用於掩模和裸晶片檢查。晶圓計量模型還配備了可定制的樣品制備站。這包括各種樣品制備工具，如清潔、升降機、樣品支架以及各種晶圓級包裝和CMP工具。這允許用戶為特定應用程序選擇最合適的準備工具。最後,設備包括一套功能強大的數據分析工具。這允許處理、可視化和分析晶圓檢查和計量工具生成的所有圖像和數據。軟件工具還提供了對晶圓質量和工藝性能的可操作的洞察力,以及全面糾正措施的平臺。KLA/TENCOR ASET-F5是一個高度先進的系統，為半導體生產線提供無與倫比的性能、精度和靈活性。該單元具有全面的特性和功能，是晶圓測試和計量的寶貴工具。