二手 KLA / TENCOR ASET F5x #293826779 待售
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ID: 293826779
晶圓大小: 12"
Film thickness measurement system, 12"
DBS and SE
Lens: 1x, 4x, 15x
Automated wafer loading/unloading
FOUP Handler and processor
FOUP Loading and unloading port
Controlled XY stage
Wafer breakage rate: <1 per 25,000
Diameter: 300±2.0 mm
Thickness: 775 ±20 μm
Edge exclusion: 1.5 mm
Wavelength: 220 to 780 mm
SEMI and CE Certification
LCD monitor
PC.
KLA/TENCOR ASET F5x是一種自動化晶圓測試和計量設備,旨在提高半導體器件生產的速度、精度和產量。該系統能夠檢查晶片的所有區域並測量其精確尺寸,從而能夠快速調整生產。它還執行測試模式運行和其他計量功能,例如測量設備的導電性、均勻性和平坦性。KLA ASET-F5X利用高精度掃描級對晶片進行高精度的檢測和測量。這些階段可以在x和y方向上移動晶片,從而完全覆蓋整個區域。舞臺還具有旋轉定位,使單位能夠測量三維器件幾何形狀。臺階由無刷電機驅動,提供極快平滑的變換,具有高精度和控制能力。該機器還具有先進的軟件,允許精確定制檢查和測試程序。這包括自動圖像識別、模式識別和晶圓/設備測試。軟件還可以跟蹤數據並創建詳細的生產報告。TENCOR ASET F 5 X設計用於精度和速度至關重要的大批量生產環境。它可以遠程或手動控制,並具有許多安全功能,例如卡紙/熱傳感器和過熱/電壓保護。這個工具也非常可靠和經濟高效,使得它成為任何生產設施的絕佳選擇。
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