二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9182371 待售

ID: 9182371
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Film thickness measurement system, 8" 2000 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x是一種最先進的晶圓測試和計量設備,旨在測量當今先進半導體器件的物理特性。其先進的光學和成像功能使其能夠檢測和精確測量諸如特征大小、地形高度和寬度以及缺陷密度和位置等參數。此功能強大的系統可快速高效地分析大量樣品,提供高級分析以確保設備制造和可靠性。KLA ASET-F5X利用光學顯微鏡對樣品晶片進行成像。顯微鏡為不同類型的工作配備了多種透鏡,使用戶能夠選擇最合適的放大倍率和分辨率。此外,電動采樣級允許在預先設定的高度和深度對采樣進行獨立的X軸和Y軸掃描。TENCOR ASET F 5 X結合了先進的自動化檢測技術,使用一套算法檢測各種缺陷。它能夠檢測顛簸、開放性缺陷、凹坑、劃痕、微裂紋和其他結構,而人工幹預最少。其三維三維形狀傳感能力保證了缺陷精確定位在晶片上,並對結果進行了準確的存儲和呈現。該F5x是一個先進的計量單位,配備了前沿校準和測量能力。它能夠精確測量晶片的幾何形狀,並提供詳細的地形圖和數據。它的高精度計量特征是基於一種稱為電阻掃描激光幹涉測量(RSLI)的專有三角測量方法。這種方法可以快速檢測到一納米大小的缺陷。KLA在設計KLA/TENCOR ASET F5 X時考慮了人體工程學和用戶友好性。該機器包括一系列明亮、清晰的液晶屏,使用戶能夠監控操作而不會產生壓力。該工具還具有直觀的圖形用戶界面(GUI),可輕松訪問眾多功能。總而言之,KLA ASET F5 X是一個令人印象深刻的晶圓測試和計量資產。它提供了豐富的高級功能,如自動缺陷檢測、地形測量和高級計量。其用戶友好的設計和直觀的GUI使其成為晶圓測試和計量的強大而簡單的工具。
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