二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9229841 待售
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單擊可縮放
ID: 9229841
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Thin film measurement system, 12"
Dual cassette open handler
Wafer handling, 6"
Wafer handling with handler charge, 12"
Spectroscopic ellipsometer
Pattern recognition
Operating system: Windows XP
Computer: Pentium 1.25 GHz
SCSI Hard drive: 80 GB
DVD/RW Drive
DRAM: 1 GB
Flat panel LCD display
Keyboard and trackball
Ethernet PCIA Card
Multi layer film capacity
Micro spot optics
Scanning stage
Wafer mapping
In-situ capability
Controller type: PC / VME
Operator manual
DBS Spot sizes: 2.7, 10, 40 um
XENON Light source
Wavelength range: 220 nm to 800 nm
2003 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x是一種晶圓測試和計量設備，提供經濟高效、高通量、精確的半導體晶圓測量。這樣就可以快速準確地分析生產過程的性能和產量。該系統由多個子系統組成，包括光學成像、計量和缺陷審查。光學子系統采用了全面、最先進的顯示技術，為晶圓上的缺陷提供了卓越的分辨率和檢測能力。這包括使用高量子效率的CMOS型（電荷耦合器件）傳感器，改善背景噪聲水平以提供更高的精度和對比度。除了光學成像之外，該單元還提供獨特的圖像分析算法組合，以優化分類和檢測潛在缺陷。計量子系統提供了對關鍵器件參數的高度精確的測定。它能夠從大面積采樣並評估一系列晶圓大小和厚度的吞吐量。這臺機器還提供了優越的晶圓映射以及使用全場成像對晶圓的特定區域進行詳細表征的能力。缺陷審查子系統集成了先進的圖像質量指標和統計缺陷驗證技術，以幫助準確識別和分類任何潛在問題。它能夠提供缺陷類型、趨勢、發生、區域、起源和位置的完整分析。子系統還提供了一個功能強大的軟件解決方案,可有效地管理和完善測試配方,確保快速發現任何潛在問題。總之，KLA ASET-F5X晶片測試和計量工具是一種先進的儀器，可以對半導體晶片進行可靠、準確和經濟高效的測量。資產能夠有效控制生產過程，減少浪費，提高產量。其高度精確的成像、計量和缺陷審查功能使其成為任何半導體制造工廠的寶貴工具。
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