二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9232878 待售
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ID: 9232878
晶圓大小: 8"
Film thickness measurement system, 8"
Dual cassette open handler
Wafer handling, 6"
Wafer handling with handler charge, 12"
Spectroscopic ellipsometer
Pattern recognition
Operating system: Windows XP
Computer: Pentium 1.25 GHz
SCSI Hard drive: 80 GB
DRAM: 1 GB
Flat panel LCD display
Keyboard & trackball
Multi layer film capacity
Micro spot optics
Scanning stage
Wafer mapping
In-situ capability
Controller type: PC / VME
Operator manual
DBS Spot sizes: 2.7, 10, 40 um
XENON Light source
Wavelength range: 220 nm to 800 nm.
KLA/TENCOR ASET F5x是一種晶圓測試和計量設備,專為半導體、內存、數據存儲、光電子、顯示器和光掩模等多個行業的先進過程控制而設計。該系統為晶圓測試和計量提供了高精度和可重復性，實現了缺陷自動檢測和分析。該F5x單元集成了360°非接觸、基於視覺的計量和測試解決方案,包括：光學聚焦/散焦、表面粗糙度、光譜反射率、CD/寬度、覆蓋、不透明遮罩缺陷、蝕刻臺階高度和材料分析。采用先進的數字光學、精密光學、運動板、光束組合器、模式識別技術和圖像分析技術，便於對樣品晶片進行精確分析。此外，該機配備了最新的半導體生產控制工具（SPCS）和X射線技術，提供精確的實時測量和控制，以及全自動模式識別和糾錯機制。這有助於最大程度地檢測缺陷並最大程度地減少錯誤警報。KLA ASET-F5X適用於高容量晶圓測試和計量，具有高速度、重復性和低擁有成本。其直觀的用戶界面可以量身定制以滿足操作要求，並支持多種語言，包括英語、日語、韓語、中文和德語。資產的一流性能和魯棒性已被證明支持各種計量應用和質量控制需求。這有助於客戶保持最高級別的過程控制,確保產品質量,並提供穩定的生產環境。
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