二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9240202 待售
網址複製成功！
ID: 9240202
晶圓大小: 8"
Film thickness measurement system, 8"
Open cassette, 8"
Spectroscopic ellipsometer
Dual-beam spectrometer (DBS)
Xenon light source: Wavelength range 220 nm to 800 nm
DBS Spot sizes: 2.7 um, 10 um, 40 um
Pattern recognition (PatMax)
2.8-GHz Pentium-IV Star bright computer
Hard drive: 80-Gb IDE
DDR RAM: 512-Mb
Ethernet PCIA card: 10 Base-T and 10 Base-100 communications protocol
Operating system: Windows XP
Flat-panel display: 17-inch color LCD
Keyboard and trackball
DVD / RW Drive and Floppy disk drive, 3.5"
DVDR / RW Blank diskette
Start-up kit
Modular wafer handler
With dual open cassette back of cabinet
Standard SE
Pattern recognition patmax
Platen single finger, 200 / 300
P4 Computer, 2.8 GHz
PCA, Matrox orion, Frame Grab, PCI
220 V, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR ASET F5x是專門為半導體行業設計的高性能晶圓測試和計量設備。它提供了多種特性來提供精確可靠的晶片測量、處理和表征。該系統由模塊化晶片工作站、晶片處理機、臺式機處理器和顯示器組成。KLA ASET-F5X的晶圓站是一個自動晶圓處理單元，高度遵守工藝配方。它設計用於處理多種晶片尺寸，因此可以很容易地適應各種生產程序。還可以遠程訪問該機器,使其成為遠程過程控制的理想選擇。獨特的晶片處理特性允許晶片的快速加載和卸載。這使工具能夠快速工作,從而最大限度地提高吞吐量和準確性。此功能還允許用戶從各種自動或手動晶圓處理選項中進行選擇。此外,該資產還能夠從厚度高達6mm的晶圓表面收集數據。臺式機處理器為用戶提供直觀的界面和處理能力來分析收集到的數據。此處理器包括板載圖形用戶界面（GUI）,可為數據管理提供友好且易於使用的環境。集成了數據采集和數據分析能力的模塊化體系結構，利用高端信號處理技術實現了高精度晶圓分析。TENCOR ASET F 5 X的顯示為用戶提供了一個寬視場。這允許用戶通過顯示過程測量的實時視圖來快速監控晶圓測試和計量過程。顯示屏還配備了可選的觸摸屏功能,可在與型號菜單和設置連接時提供更大的控制和靈活性。TENCOR ASET F5x是一種綜合的晶圓測試和計量設備，將精度和性能與易用性相結合。ASET F5x具有模塊化體系結構、易用性和廣泛的晶圓處理能力,是半導體生產工藝的絕佳選擇。
還沒有評論