二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9240546 待售
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已售出
ID: 9240546
晶圓大小: 8"-12"
優質的: 2003
Film thickness measurement system, 8"-12"
8" Conversion: Insert type
Data transfer: Floppy disk / DVD R/W
Operation: Mouse & keyboard
Emergency button cover: Recessed type
Door interlock
Recipe auto backup
Auto data deletion
Auto error log file save & classification
Queued loading (Queue recipe)
Operating system: Windows XP
Spectroscopic ellipsometer
Spectrometer
Wavelength of light source: 220~800 nm
Spot size for thickness & RI: < 40μm
Spot size for reflectivity: < 40μm
Mapping function: 2D & 3D
Pattern recognition
Recipe copy with film library
SE & DBS Optics
Optic lens: 1x, 2x, 4x, 15x
Pattern score: FA
Location screen: Visualize on one screen
Pattern recognition image / Measurement site save
Spectrum save function (Save all at once)
Spectrum save and auto deletion (Save everything, Hard Disk Drive (HDD))
Recipe / Library import: On-time intromit at TCP/IP
AMHS
Project
Signal tower
Wafer breakage: ≤ 1/100,000 Cycles
S3 Handler
Options:
GEM SEMI E30-98
SECS II SEMI E5-93
Recipe generator
Remote access capability
Light tower
Carrier ID, 12"
Safety shield, 12"
Light tower
HSMS Communication
Recipe generator
S3 Handler
Controller:
CPU: Pentium 4 3.0 GHz
Memory: 1.024 G Byte DRAM
(2) Hard Disk Drives (HDD): 80 GB
2003 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x是一種用於晶圓測試和計量的多傳感器計量設備。它旨在對晶片樣品中的各層進行可靠和精確的測量，包括矽、金屬層和有機層。其多組分檢測技術用於測試樣品的電性能和物理結構。該系統由多軸平臺、高分辨率級和高質量成像單元組成。多軸平臺具有高精度高速移動樣品晶片的能力，使測試機能夠快速收集各種各樣的數據。高分辨率階段是高度精確的，允許工具測量晶圓的性能下降到納米級。成像資產使用光學技術檢測測試樣品的特征，讓晶圓測試人員洞察樣品的結構。KLA ASET-F5X的設計考慮到了最高級別的功能。它易於使用,具有用戶友好的基於Web的界面以及自動化和手動測試過程。由於其強大的算法和精確的儀器，該模型能夠在幾分鐘內提供高精度的測量。它還配備了實時反饋，讓工程師能夠實時監控數據，對測試過程進行實時調整。TENCOR ASET F5 X利用先進的顯微鏡技術，如電子顯微鏡，以及常規的光學成像來建立測試樣品的圖像。顯微鏡技術提供了有關樣品特性的詳細信息，而光學成像則允許測試人員以非侵入性的方式測量樣品的特性。這樣就可以有效地收集測試晶片內各種參數的準確讀數。該設備設計得非常堅固可靠，能夠進行高吞吐量的測試和準確的結果。該系統還設計用於高性能，允許高分辨率測量和提高精度。該單元是半導體和電子測試的理想解決方案，為各種晶圓應用提供快速、可靠和精確的數據。
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