二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9251592 待售

KLA / TENCOR ASET F5x
ID: 9251592
晶圓大小: 12"
優質的: 2001
Film thickness measurement system, 12" 2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x是一種晶圓測試和計量設備,最適合廣泛的應用,如故障分析、產量管理、缺陷控制、器件表征、半導體器件開發和過程監控。KLA ASET-F5X能夠對10納米以下的所有集成電路層進行測量。它旨在為當今復雜的設計提供多用途、精密的功能和關鍵測量的快速融合,從高長寬比的復雜幾何到最復雜的特征。該系統利用高分辨率成像單元進行特征檢查和測量,連接到高精度3D級進行晶圓定位和掃描。此外,還可以連接電氣測量的電氣探測站。為了從試樣中獲得最可靠的數據,TENCOR ASET F5 X配備了尖端光學機器。此工具提供高分辨率成像,具有更大的景深、更好的對比度以及更好的邊緣、側壁和關鍵特征的分辨率。這一先進的光學資產與先進的彩色成像技術、脈沖激發技術和色彩增強算法等支持性技術相結合。此外,KLA/TENCOR ASET-F5X還使用圖像處理和測量軟件快速分析和報告結果,例如大小和形狀、特征對比以及有缺陷或缺失的粒子、顛簸和其他細節。該模型還有一個綜合自動化框架,旨在盡量減少人工幹預,同時最大限度地提高效率和準確性。此框架使用戶能夠創建、存儲和運行自動晶圓檢查場景和測量。這些方案甚至可以擴展到包括特定特征的自定義測量。此外,KLA ASET F5 X具有完全的環境控制。這包括溫度控制、濕度控制以及晶圓表和成像元件的光控制,都是為了保證結果的準確性。總體而言,KLA ASET F5x是一種先進、先進的設備,使企業和組織能夠全面分析、檢查和測量復雜的集成電路設計。它提供了一系列功能和特性,非常適合用於故障分析、產量管理、缺陷控制、設備表征以及半導體設備開發和過程監控。
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