二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9254566 待售
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ID: 9254566
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Film thickness measurement system, 8"
Cassette interface:
Open handler with (2) open cassette stations
PRI / EQUIPE Wafer handling robot with dual end actuator
BROOKS PRE-300B-CE Pre aligner
Main tool:
Spectroscopic Ellipsometer (SE)
Xe Xenon light source
D2 Lamp
Controller type: PC
Computer
Floppy drive: 3.5" (1.44 MB)
Castle wood drive: 2.2 GB
Color VGA monitor
Keyboard / Trackball
Facility requirements:
CDA
Vacuum
Power supply: 208 VAC, 8.5 A, Single phase, 3-Wire, 50/60 Hz
CE Marked
2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x是一種晶圓測試和計量設備，設計用於計量和缺陷審查應用。利用最新、最先進的檢測系統,提高了關鍵缺陷檢測性能.該單元旨在滿足全面缺陷檢測和提高產量的關鍵和復雜要求。它還被設計為提供更廣泛的自動化晶圓測試、計量和缺陷審查功能。該機配備了順序掃描技術，與缺陷檢測和調試工具無縫集成。集成技術有助於提高流程性能並縮短吞吐量時間。它具有集成的有源光學傳感器（AOS）,可捕獲最具挑戰性的缺陷特征,其分辨率和吞吐量速度明顯高於其它產品。KLA ASET-F5X旨在增強現有和計劃中的KLA/TECON成像系統的軟件功能。它還與現有設備無縫集成，提供自動封裝分析儀、封裝應力測量、照片面部成像、翻新以及廣泛的高級插槽操作。它帶有一個用於晶片和光致抗蝕劑檢查的自動光學檢查工具。它旨在連接到各種光學和子系統,使用戶能夠配置、自定義和自動化其當前和將來的測試和計量過程。該資產還支持多種軟件工具，包括TENCOR實時流程監控、KLA/TENCOR Auto Focus、基於KLA流的缺陷檢測等等。TENCOR ASET F5 X模型為測試、計量和缺陷審查應用提供了完整的解決方案。該設備具有先進的檢測技術和較高的吞吐量速度,專為高端計量和缺陷評審應用而設計。它提供了廣泛的自動化晶圓測試、計量和缺陷審查功能。該系統旨在與當前和今後的所有成像、檢查和計量系統配合使用。它旨在提高關鍵缺陷檢測性能並縮短吞吐量時間。
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