二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9263174 待售

KLA/TENCOR ASET F5x是一種先進的晶圓測試和計量設備，利用下一代光學和聲學技術對半導體晶圓進行全面、快速、可靠、經濟高效的測試和檢驗。該系統提供了廣泛的自動缺陷檢查和計量功能,此外還支持幾種晶圓幾何形狀和過程設置,以便快速檢測和測量晶圓上的缺陷。KLA ASET-F5X利用激光散射、散射法和光學對比度成像（OCI）等先進的光學和聲學技術,為線緣粗糙度（LER）、線寬和叠加測量等關鍵應用提供高分辨率和可重復的結果。該單元配備了多臺攝像機，以光學背面和正面成像模式獲取晶圓及其處理層的高分辨率圖像，並對單個特征和缺陷的高分辨率圖像進行顯微鏡檢查。該機還能夠檢測到各種缺陷和工藝相關特性，具有卓越的速度和精度。這是通過精密的算法來實現的，這些算法可以識別粒子、滑動、斷裂、凹坑、丘陵、楔子等等。該工具還包含一個基於深度學習的自動缺陷分類器，能夠準確識別異常模式和結構缺陷，從而實現對過程控制的可靠反饋。此外，TENCOR ASET F 5 X支持大量計量應用，如可追溯尺寸測量、隨機散射成像、全芯片區域掃描映射、臨界過程參數計量等。資產附帶集成晶圓緩沖和機器人晶圓處理，使其能夠並行運行多次高速檢查和計量。這樣可以確保及時、準確地獲取和評估數據。KLA/TENCOR ASET-F5X是一種功能強大且用途廣泛的晶圓測試和計量工具。它在廣泛的應用程序中提供了高精度、速度和可重復性,同時還提供了對過程控制反饋的可靠訪問,以實現優化的產量。該模型還得到全面的技術支持和應用工程的支持,以幫助用戶滿足其特定需求。