二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9269734 待售

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KLA / TENCOR ASET F5x
已售出
ID: 9269734
晶圓大小: 12"
優質的: 2001
Film thickness measurement system, 12" (2) Load ports Handler, 8"-12" Operating system: Windows XP Service Pack 3 2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x是一種最先進的晶圓測試和計量設備,用於為半導體行業提供準確可靠的測量。該系統為各種應用程序(如高級邏輯和內存技術)提供了可擴展的解決方案。該F5x是一個全自動的視覺引導機器人設備,可實現高吞吐量和數據準確性。該F5x采用5倍光學放大機,具有大視場(FOV)測量能力和高達5 um的小特征分辨率,使該工具能夠捕獲各種數據和截面掃描。該資產還能夠測量各種電氣參數,如晶圓電阻、電容和泄漏值。該F5x包括一系列高效、可靠和模塊化的組件,如用於快速裝卸的多自由機器人,用於精確對準測試點的高速自動對焦鏡頭,以及用於復雜圖像處理的現場可編程陣列(FPGA)。此外,該模型還提供各種可選組件和檢測器,以適應不同的應用要求。KLA設計了具有全面軟件套件的F5x設備,以實現可擴展性、可擴展性和易用性。軟件套件提供高級編程工具和模塊,以實現高速分析和控制測量結果。在軟件方面,系統能夠提供靈活、可重復和可靠的數據收集和存儲測試方法。TENCOR F5x單元的設計是為了滿足半導體行業的大批量生產要求。利用F5x機器將提供快速的周轉時間,降低擁有成本,提高產量和過程控制。此工具將使制造商能夠優化設備性能並提高整體流程效率。
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