二手 KLA / TENCOR ASET F5x #9300883 待售

KLA/TENCOR ASET F5x是一種晶圓測試和計量設備，用於精確分析和測量晶圓上的半導體特征。具體而言，系統使用先進的成像和圖樣識別技術來檢測、測量和評估半導體晶圓表面的小尺寸特征，以確保生產中的高質量和準確性。該單元由多個單獨的組件組成，包括一個光學顯微鏡站、一個樣本運動站、一個綜合圖像和基於幹涉測量的計量實驗室，以及一個自動化的方法開發和驗證機器。KLA ASET-F5X內的光學顯微鏡站利用自適應光學增強了制造特征的對比度和分辨率，優化了捕獲的圖像質量。利用該站生成的高清圖像，利用先進的模式識別技術來識別、測量和分析小半導體特征的關鍵特征。資產的樣品運動站提供精確的運動控制，以確保適當的晶圓對準、高效率和可重復性，以便在不同的位置進行測試。此外，該站還允許模型進行快速的非接觸面特征測量。綜合圖像測量學實驗室對晶圓上突出的線條和螺距特征進行精確的尺寸測量。這包括表征局部線條特征（包括橋接、寬度和高度）以及全局線條特征（如步長和線條寬度均勻性）的能力。自動化的方法開發和驗證設備有助於確保整個測試過程的準確性和可重復性。這是通過集成先進的光學和計算智能來快速評估和對特征錯誤做出反應的。此外，TENCOR ASET F 5 X還提供了多種可選模塊和軟件包，以進一步增強其定制解決方案的計量能力。其中包括用於廣域成像、高分辨率檢查、臨界尺寸測量和缺陷檢查的模塊。總之，KLA ASET F5x是一個綜合晶片測試和計量系統，利用先進的成像和模式識別技術檢測和測量晶片上的小半導體特征，以確保生產的高質量和準確性。該單元有多種可選模塊和軟件包可供選擇,適用於各種行業的使用。