二手 KLA / TENCOR ATI I Surfscan #9292752 待售

KLA/TENCOR ATI I Surfscan是用於制造集成電路和半導體器件的最先進的晶圓測試和計量設備。它是一個高度精確可靠的自動化表面缺陷檢測系統，能夠檢測晶圓和納米結構中的微觀缺陷。該單元設計用於執行兩個基本操作：表面掃描和計量。表面掃描涉及對晶片表面執行診斷掃描,以識別晶片上的任何表面缺陷。機器配備了特殊的透鏡和照明工具，使其能夠檢測晶圓表面的微觀缺陷。這使得它能夠識別缺陷，包括劃痕、表面微粒以及肉眼看不見的其他特征。計量是測量晶圓和相關器件特性的過程。使用KLA ATI I Surfscan,操作員可以測量各種計量參數,包括寬度、長度、偏轉、傾斜、輪廓和厚度。資產的高級功能允許操作員以無與倫比的精度測量整個晶片和3D納米結構。除了成像和計量功能外,該模型還可提供數據分析和報告功能。掃描和計量過程中的數據可以傳送到外部數據庫或收集到設備中以作進一步分析。這有助於操作員創建有關晶圓的條件和質量的全面報告。操作員還可以生成自定義報告和圖表,以識別測量數據中的趨勢和異常。總體而言，TENCOR ATI I Surfscan是晶圓制造和半導體器件應用的寶貴工具。它可以幫助操作員識別微觀缺陷、測量設備屬性以及分析數據以用於報告目的。通過利用此系統,操作員可以優化其流程以提高效率和質量保證。