二手 KLA / TENCOR C2C/FT #9409302 待售

KLA C2C/FT是一種晶片測試和計量設備，為半導體和光伏晶片的檢測提供高分辨率成像和精確的參數測量。它具有可配置的平臺,支持多種工藝技術,旨在增強3D產量分析。該系統能夠使用多種成像模式，如亮場/暗場、光譜學和顯微鏡來捕捉圖像並獲得精確的測量。它還提供了自動缺陷放置和分類、粒子級缺陷檢測、晶圓對晶圓比較等。其專利光譜成像技術消除了熒光濾波器的需要，可以精確檢測模具和/或電路檢查的參數，如光伏電池和相關組件。C2C/FT單元具有高性能的精密級,具有自適應區域模式光束縫合技術,可實現快速的即時掃描和校準,有助於提高吞吐量水平。完全集成的實時缺陷審查可實現實時分析和洞察力缺陷表征。該機先進的人工智能能力促進了精確的計量和自動化的過程控制。此外,該工具還提供集成的智能流程監視和控制資產,可提供實時診斷、流程計量、數據提取和分析。它具有多路復用體系結構和多光譜/模具級成像功能,可確保數據準確可靠,周轉時間快。該模型可在無晶圓廠環境中運行，非常適合先進的光學和半導體光刻、CMP、拋光和高級缺陷還原等多種工藝。總體而言，TENCOR C2C/FT是一種先進的晶圓測試和計量設備，為半導體和光伏晶圓提供成像、參數測量和缺陷表征。其可配置的平臺和高性能功能非常適合減少缺陷級別和優化過程控制。