二手 KLA / TENCOR Candela 6100 #293597437 待售
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KLA/TENCOR Candela 6100是一種晶圓測試和計量設備，設計用於對半導體制造廠生產的晶圓的物理特性進行精確和可重復的測量。該系統配備了全場、可變源光度成像單元、全場高放大顯微鏡和3D激光剖面儀。這種強大的成像和計量功能組合為用戶提供了晶圓過程控制的有效工具。全場成像機能夠在亮場和暗場照明下捕捉晶圓的完整圖像。亮場成像有助於揭示地形缺陷，而暗場成像則揭示在正常檢查下可能無法檢測到的顆粒或顆粒。此外，成像工具可以檢測標記缺陷的存在，最小尺寸為1.5微米，並檢測晶圓表面的塗層損耗。全場高放大顯微鏡允許您識別和測量關鍵參數,如叠加目標和關鍵尺寸。顯微鏡配有10倍至100倍變焦鏡頭，工作距離400mm，以及三種不同的照明模式--關閉/開啟/激光--用於識別不同的參數。通過自動掃描，它還可以提供對整個晶片表面的分析，允許更精確的測量。三維激光剖面儀可用於驗證金屬和介電層的精度。Profiler裝有兩個雷射源、兩個線規和兩個照相機。激光源用於測量圖層的厚度、蝕刻速率、線寬和表面拓撲,而線標則用於測量線寬、線緣粗糙度和輪廓。剖面儀可測量厚度達760微米、直徑200毫米的晶片。總體而言，KLA Candela 6100是一種最先進的晶片測試和計量資產，能夠精確測量半導體晶片的物理特性。憑借其強大的成像和計量功能,用戶可以自信地跟蹤其工藝性能,驗證其產品的準確性,並最終提高產量。
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