二手 KLA / TENCOR Candela 8620 #293798120 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Candela 8620是頂級的晶圓測試和計量設備,為內存和邏輯過程節點提供無與倫比的吞吐量和性能。該系統配備了獨立於FOUP的Openstage晶片處理、濺射室和業界領先的相控陣光學剖面儀（PAOP），以提供精確的高分辨率地形測量和關鍵特征參數。該單元旨在滿足半導體制造商和註重研發的工藝節點的需求。Openstage晶片處理由負載端口、分體式隧道和升降機組成,可進行高效的晶片處理和分類。濺射室提供潔凈室環境和自動濺射過程，用於金屬薄膜的沈積、接觸蝕刻和其他應用。KLA Candella 8620的核心是相控陣光學剖面儀（PAOP）。PAOP使用激光器陣列來捕獲地形和關鍵特征參數,例如線緣和寬度粗糙度、臨界尺寸、側壁角度、間距和極點寬度。PAOP的工作原理是跟蹤和校正由表面地形變化引起的晶片中的小錯位。PAOP能夠在單個芯片或小至50 nm的完整晶片表面上成像特征。Candella 8620還可以提供到原子級的測量能力，這要歸功於集成的原子力顯微鏡（AFM）機。AFM用於測量分辨率為1 nm的特征的尺寸和高度。AFM能夠測量線緣粗糙度達到0.01 nm。Candella 8620也可用於檢測和表征晶片表面的缺陷，達到亞波長精度。TENCOR Candella 8620工具是確保半導體生產高產的強大、通用的工具。憑借其業界領先的吞吐量和精確度,它為生產級晶圓計量和測試提供了可靠、經濟高效的解決方案。