二手 KLA / TENCOR Candela C2 #9277067 待售

ID: 9277067
Defect inspection system.
KLA/TENCOR Candela C2是一款先進的晶圓測試和計量設備,將晶圓掃描、測試和檢查以及成像能力結合在一個集成平臺中。KLA Candela C2系統為半導體器件制造提供了優化的測試和測量解決方案。TENCOR C2單元的設計滿足了半導體器件制造業的苛刻要求。其高精度的測試和計量能力確保了晶圓特性的準確和可靠表征,如電氣和光學特性、缺陷密度和地形。它由一個自動處理程序、一個自動晶圓探測器、一個光學顯微鏡和一個掃描電子顯微鏡組成,它們都能夠在各種晶圓應用中進行高精度測量。自動晶片探測器能夠按順序測試多達38個晶片,並提供廣泛的探測能力。TENCOR Candela C2機的光學顯微鏡提供了具有五種不同成像模式的高分辨率成像能力,可用於缺陷映射和工藝質量控制。集成掃描電子顯微鏡允許精確測量晶圓,分辨率低至0.1微米。它還包括一個能量色散X射線光譜儀(EDS),使工具能夠分析材料組成。最後,資產連接到一組計量平臺,如幹涉儀、散射儀和表面剖面儀,從而能夠對設備結構進行更詳細的探測。C2以其可靠性和高性能以及適應不斷變化的測試和計量要求的能力而聞名。它還得益於條形碼晶圓跟蹤、自動數據處理和遠程訪問等多項功能,允許用戶從任何位置監視其操作。總體而言,KLA/TENCOR C2模型是一種令人印象深刻的多合一晶圓測試和計量設備,能夠準確可靠地表征晶圓特性。其集成的設計、高精度以及廣泛的測試和計量能力使其成為半導體器件制造商的理想選擇。
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