二手 KLA / TENCOR Candela CS10 #293626641 待售

KLA / TENCOR Candela CS10
ID: 293626641
Surface inspection system.
KLA/TENCOR Candela CS10是一種高性能晶圓測試和計量設備。該系統旨在通過檢測缺陷、測量設備的電性能和提供數據以更好地了解制造過程來幫助制造商提高產品產量。該CS10利用一套自動化的精確晶片測試儀來支持各種尺寸可達300 mm的晶片。一個微波電動機用於提供精確的X、Y和Z晶圓定位,允許對精確的臨界尺寸進行敏感的測量。電動直線級提供高精度、可控的表面采樣。該CS10使用高分辨率光學檢查傳感器和圖像處理算法來檢測晶圓上的粒子、缺陷和損壞的表面。多激光檢測、電荷註入裝置和貼片測試技術提供了對器件層、基板和徑向距離的精確監測。該CS10還采用自動光學對準裝置,消除人為錯誤,提高效率。該CS10提供晶圓表面、邊緣、平坦度和接觸孔的快速、精確的晶圓計量數據。集成的垂直和水平輪廓測量傳感器測量設備的臨界尺寸,並在3D中收集腐蝕和粗糙度信息。自動激光標記還可以追蹤晶片。該CS10支持廣泛的綜合計量解決方案,包括復雜的特征分析和晶圓參數的制定。它還支持用戶定義的光譜測量和信號分析,以更深入地了解制造設備的過程。該CS10提供了與軟件工具和數據庫的全面連接,從而簡化了操作並提高了數據可靠性。該機器還支持集中化應用程序,如LMIS,並提供可擴展性和靈活性,以滿足不斷變化的需求。最後,KLA CANDELA CS-10為客戶提供準確可靠的晶圓測試和計量解決方案.憑借其先進的功能、高精度和可擴展性,制造商可以從提高產量和生產率中受益。
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