二手 KLA / TENCOR Candela CS10 #293637902 待售
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KLA/TENCOR Candela CS10是一種晶圓測試和計量設備,其設計目的是為半導體應用提供卓越的精度和高通量。該系統能夠處理300 mm以下的晶片,同時進行接觸和非接觸測量,以及自動數據分析和報告。該單元采用高分辨率光學顯微鏡和自動自動聚焦和波長校準機,允許用戶檢查晶體缺陷,測量總厚度變化,並通過地形確定。刀具的4端口雙頭表面剖面儀能夠捕獲中間層、高長寬比和窄而深的通孔。此外,該資產還包括兩個粒子傳感器、兩個彩色3D映射傳感器和兩個散射測量儀器,使用戶能夠快速準確地測量和分析表面飾面、粒子爭議和線緣粗糙度。該模型具有高度可配置性,可以根據特定的應用程序和客戶需求進行定制。它還包括一些自動化功能,如集成自動設備識別、專利噴嘴清潔器和全天候監控功能。而且,該系統支持一系列先進算法,使其能夠準確表征現代光刻過程中發現的許多非線性效應。因此,用戶可以確保其晶片符合規範並始終滿足其要求。由於設計精巧,KLA CANDELA CS-10提供了許多優於其他晶圓測試和計量系統的優勢。它非常精確,使用戶能夠測量和分析甚至晶圓性質的最小變化。它還提供高吞吐量,允許快速和可靠的晶圓表征。此外,該設備具有高度可配置性,包括許多高級和自動化功能,可確保用戶充分利用其測試和計量機。
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