二手 KLA / TENCOR Candela CS10 #9179263 待售

KLA/TENCOR Candela CS10是一種晶圓測試和計量系統,用於晶圓的高精度計量,包括臨界尺寸（CD）和叠加等測量。該CS10是Candela系列工具的一部分,它為各種項目提供了廣泛的自動檢查功能。其中包括對關鍵缺陷位置的審查、故障分析、過程監視和部分到部分驗證。適用於140 nm和90 nm的設計規則,特征提取高達55nm。CS 10先進的晶片處理機制使其易於使用高溫晶片（最高500攝氏度）和各種晶片直徑（從200毫米到9英寸）。其高速激光幹涉儀確保了精確的計量，有效測量速度比前一系統提高了四倍。該CS10具有卓越的晶圓吞吐量和數據精度。它具有強大可靠的探測器，總測量面積近2000平方毫米。高速時,每秒可提供200次測量。該CS10配備了多種光機特性，如擴展測量場、輻射冷卻輻射光學器件以及針對速度和精度進行優化的電機。其基於圖像的邊緣檢測算法能夠準確地確定邊緣和階躍高度，用於高級晶圓測量。KLA包括Trace軟件套件-該套件有助於獲取數據和簡化光學系統的處理-以及圖形用戶界面,它簡化了所有經驗級別用戶的操作。這些特性結合在一起，使CS10成為晶圓計量的理想選擇。