二手 KLA / TENCOR Candela CS10 #9186184 待售

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ID: 9186184
優質的: 2012
Optical surface analyzer Dual-laser optical X-Beam technology (2) Laser paths / (4) Independent wafer surface detection techniques Particle sensitivity on polished silicon wafers: <0.08 Micron Exceptional sensitivity to micro scratches: Automatic wafer surface inspection Defect detection / Classification: 2"-12" Transparent and opaque wafers Kit, 6" Software version: 6.8 2012 vintage.
KLA/TENCOR Candela CS10晶片測試和計量設備利用先進的成像和計量技術對晶片進行檢測,然後再將其用於電子設備制造。該系統利用5軸鉸接級來支持有密閉裝卸區域的全晶片檢查。該CS10有一個新的水平光束路徑,減少了操作員的足跡,同時還提供了增強的視場,以增強全局缺陷檢測。其先進的光學單元利用步進掃描能力,以無與倫比的焦點和分辨率掃描特異折射扁平標本。它還具有3k x 2k圖像捕獲分辨率和先進的圖像升級技術,可確保更清晰的圖像。該CS10配置了最新的成像和計量技術,可在單個儀器中提供多種傳感器和分析配置。它經過校準,能夠測量從0.1nm到80um的各種信號電平,並評估各種不同厚度的材料,例如高長寬比器件結構和稀釋晶片。該CS10與各種工藝化學和廣泛的自動化測量算法庫兼容。它采用材料自適應技術來處理各種晶圓類型,以及200至800毫米的晶圓形狀和尺寸。該CS10為晶片探測提供了廣泛的選擇,從非接觸式光學測量到接觸式和非接觸式探針,如聲學微成像儀、渦流、激光位移映射和缺陷計量。它與用於缺陷計量和半導體過程控制分析的計量工具套件集成在一起。該CS10還具有足夠的靈活性,可以安裝在現有的生產環境中,而無需任何特殊的布線,而且其高級數據管理功能可確保客戶數據的安全存儲和嚴格的機器安全。它可靠且易於使用,提供全面的操作員培訓和技術支持。總體而言,KLA CANDELA CS-10是一種可靠和通用的晶片測試和計量工具,它提供最新的成像和計量技術,以確保對各種晶片類型和尺寸進行高質量和準確的檢驗。對於需要以經濟高效的方式快速精確檢測缺陷的電子設備制造商來說,它是一個有價值的解決方案。
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