二手 KLA / TENCOR Candela CS10 #9226815 待售

KLA / TENCOR Candela CS10
ID: 9226815
Surface inspection system.
KLA/TENCOR Candela CS10是一種晶圓測試和計量設備,利用先進的傳感器技術來測量和表征晶圓。它具有快速、準確、靈敏度高的缺陷特征綜合檢測系統,以及用於精確計量的多傳感器計量階段。該單元還具有使用先進半導體檢測算法創建的高精度模模缺陷圖。憑借直觀、用戶友好的設計,該機以經濟高效的吞吐量提供卓越的晶圓性能,成為半導體制造的理想之選。CS10工具為晶圓測試提供了先進的技術。它配備了專利的Multi-Sensor Technology,將TE: VISION傳感器與機械掃描技術相結合,創造出高精度的缺陷圖。此方法有助於識別平面和非平面缺陷,同時提供高分辨率圖像。該CS10還包括高精度成像(HPI)功能,允許對模具到模具和模具到柵極電路進行精確測量。KLA CANDELA CS-10資產包括一個用於處理晶圓數據采集、分析和模具分類的復雜軟件包。該模型利用了許多可選擇的軟件模塊,以滿足特定的客戶需求,包括3D檢查、缺陷表征、零件到零件分析和產量分析。該軟件提供靈活的數據管理和易於使用的圖形分析工具,幫助用戶深入了解其流程。設備還包括光刻-邊緣檢測、線緣粗糙度測量、模式識別算法等先進功能。這些工具為缺陷檢測和計量任務提供了更全面的方法。此外,該軟件還可用於生成用於晶圓級性能評估的精確配置文件。為確保可靠的結果,CS10系統采用自動維護和校準功能進行設計。為避免停機,可以快速、遠程地校準設備的卡盤和分級。自動化機器還提供現場健康維護功能,允許遠程診斷和故障排除。總之,TENCOR CANDELA CS 10是晶圓測試和計量的一種經濟高效的解決方案。該工具的先進和直觀特性提供了可靠和準確的結果,使其成為半導體制造的理想選擇。該CS10具有通用的軟件選項以及自動維護和校準功能,旨在最大限度地提高生產效率和優化晶圓性能。
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