二手 KLA / TENCOR Candela CS10R #9280421 待售
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KLA/TENCOR Candela CS10R晶圓測試和計量設備是一種自動化、高精度、數據驅動的系統,專為生產和開發應用而設計。它提供超精確的非接觸式電測試探測,以及全面的晶圓缺陷檢測和計量能力。該CS10R的特點是一個大型機器人晶片處理表,可移動臂,使精密晶片定位和舞臺計量。該單元還提供高速光學成像傳感器,用於檢測晶圓表面最輕微的瑕疵或劃痕,並提供詳細的缺陷信息用於分析。這臺機器還包括各種各樣的晶圓測量和分析功能,如表面粗糙度測試、臨界尺寸(CD)測量、薄膜厚度或厚度輪廓測量以及微觀成像。此外,CS10R還配備了專利、高精度和高可重復性的測量頭,利用感應傳感技術在晶圓表面產生熱和電響應。這極大地提高了數據采集和性能,從而實現了數據準確性、精度和可重復性的一致性。該CS10R還配備了先進的光學成像軟件,以三維格式呈現晶片,允許快速和精確的測量。憑借高度優化的環境,CS10R比其前輩節省了大量時間。該工具還擅長缺陷檢測掃描,最小化產品失真,並為各種測試格式提供雙重環境功能。CS10R晶圓測試和計量資產為制造、研發和進入的質量控制環境提供了理想的解決方案。其先進技術也非常適合晶圓制造、安全評估、產量分析以及廣泛的其他測試。通過提供業界領先的性能、準確性和價值,KLA Candela CS10R使工程師和工藝工程師能夠進行一流的晶圓測試和計量。
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