二手 KLA / TENCOR Candela CS10R #9372904 待售

KLA/TENCOR Candela CS10R是一種晶圓測試和計量設備，用於精密晶圓測試、計量和表征。該系統旨在通過半導體生產線中的工具和磁帶工藝、高度控制、形狀測量和缺陷分析為工藝工程師提供支持。可用於晶圓映射、缺陷檢測、粒子分析等多種應用。該單元包括視覺檢測機、光學顯微鏡和晶圓相機工具，用於檢測半導體晶圓上的缺陷和粒子。視覺資產旨在實現高速、高精度的分析,能夠快速檢測和分類最小的缺陷。光學顯微鏡支持樣品的直接成像，從而實現晶圓的高分辨率視圖。這使得能夠有效地檢測表面地形和結構特征。最後，晶片相機可以對整個晶片表面進行寬視拍攝，使高質量的圖像能夠用於缺陷檢測和分析。該模型與用於分析的尖端軟件集成在一起,提供實時過程監控、自動缺陷分類和數據分析。這使流程工程師能夠快速發現流程問題並查明任何潛在問題,從而使他們能夠對流程進行必要的調整,以提高產量和設備性能。此外,設備還提供一系列自動化處理流程。這包括一個自動晶圓映射系統，該系統可以跟蹤晶圓的測量和繪制任何潛在缺陷，以及一個自動晶圓傳輸單元，它使用機械臂接收晶圓。KLA Candela CS10R為晶圓測試和計量提供功能和自動化的強大組合。它支持快速、準確的缺陷檢測和分析,以及自動化的處理和映射過程。這有助於工藝工程師識別和解決半導體生產線的任何問題,從而提高設備性能和產量。