二手 KLA / TENCOR CI-T53P #293635058 待售

KLA/TENCOR CI-T53P是一種晶圓測試和計量設備，設計用於時間到時間的過程控制應用。它是一種獨立配置,結合了高級系統體系結構和集成的光機械組件,可提供可靠、高性能的計量服務。該T53P能夠執行廣泛的過程控制測量,包括電阻率、電阻率測量、氧化物厚度、薄膜質量、臨界尺寸（CD）/直徑、側壁角、電流泄漏和深度分析。它還可以從一個觀景相機評估計量圖像，分析晶片圖樣特征，如線寬、閘高、懸垂角和遮罩對準。T53P單元的計量能力包括四個關鍵階段的綜合過程控制和一致的設備制造。T53P中包含用於管理整個流程的高級軟件包。軟件包括一個直觀的圖形用戶界面，它提供了一個簡單的方法來輸入設置，生成測試程序和存儲測試結果。該機器還配備了一系列強大的統計分析工具，在控制晶圓計量條件和分析水平的同時，進一步定義過程控制結果。該工具的掃描能力提供了有關半導體點結構的詳細信息，從而為具有充足測試圖像的快速晶圓計量服務鋪平了道路。它的「基板互換性工具」能夠立即測量復雜的圖樣並將其與以前的規範進行比較。這有助於確保正確的設計向前發展。T53P資產為大型測試提供了卓越的性能。它具有較大的視野和較高的數據捕獲速率,可以快速周轉。它還具有直觀的操作功能,允許工程師在幾秒鐘內設置參數、自定義流程流並生成詳細結果。該T53P是一個完全集成的模型，具有用於準確測試和分析的所有必要工具。它是用於高級流程控制的多功能一體解決方案。該設備具有強大的功能,使制造商能夠準確識別工藝缺陷,驗證其工藝保真度,並保持生產流程正常。