二手 KLA / TENCOR CI-T53P #9254920 待售

KLA/TENCOR CI-T53P是一種先進的自動化晶片測試和計量設備，用於測量、檢查和分析矽片上的各種參數。它結合了最新的計量技術、精密的運動控制和強大的過程控制工具，為半導體器件制造過程提供精確和可重現的數據。KLA CI-T53P系統提供兩種主要的晶圓分析功能：計量和測試.它的計量能力允許在單個晶圓中測試多個參數，如厚度、船首/經線、寬度和叠加。該裝置能夠測量0.25微米以內的覆蓋層，是先進設備設計中監測覆蓋層精度的理想解決方案。另外，TENCOR CI-T53P可以分析晶片的各種機械參數，如平坦度、表面粗糙度和顆粒汙染。CI-T53P臺機器還配備了一整套可在單個周期內執行的測試。一個這樣的測試是光缺陷檢測（PDI），它精確測量晶片上光刻圖樣的位置、大小和形狀。另一個例子是臨界尺寸成像（CDI），可用於精確測量細線寬和其他設備特征。這些測試有助於確保產生的晶片沒有缺陷,並且設備特性在一定範圍內。KLA/TENCOR CI-T53P工具旨在為操作員提供精確和可復制的數據。這是通過直觀的資產界面啟用的,它允許在使用各種測試工具時集成各種精度。此外，KLA CI-T53P集成了先進的統計過程控制（SPC）工具，以確保每個測試的結果都在所希望的範圍內。這樣就可以實現廣泛的功能,以實現晶圓過程的可追蹤性、預測分析和維護。總體而言，TENCOR CI-T53P是一種功能強大的晶圓測試和計量模型，旨在在半導體器件制造過程中提供卓越的精度、精度和可重現的數據。它的高級功能使操作員能夠更有效地管理和控制晶圓測試的各種參數。