二手 KLA / TENCOR CTC / FT / FT-500 / FT-530 #293609395 待售

KLA/TENCOR CTC/FT/ FT-500/ FT-530是一種晶圓測試和計量系統，設計用於半導體晶圓的精密光學測試。它的自動化操作和堅固的設計允許對晶片進行可靠和可重復的測試，具有很高的準確性和可重復性。該系統使用先進的、高分辨率的計量測量和先進的控制算法來精確測量半導體晶圓表面的各種特征，包括地形、CD（臨界維度）均勻性和摻雜量。KLA CTC/FT/ FT-500/ FT-530由四個主要單元組成：光頭、晶片級、光幹涉儀和掃描軟件包。光學頭是一個高級單元，容納四個光學，包括一個測量目標，一個參考目標和兩個數值目標。這些光學器件一起收集晶圓表面的詳細圖像，然後將一系列會聚的足跡投射到晶圓表面上。晶片級是一個電動測角儀平臺，它精確定位晶片並使其相對於光學器件定向。光學幹涉儀是測量位移、位移邊界和平坦度的高端單元。該設備使用激光和衍射光柵在晶圓表面上創建幹涉圖樣，然後使用計算機對圖樣進行分析，提供精確且可重復的平坦度測量。最後，利用掃描軟件包實現晶圓測試和計量過程的自動化和控制。該軟件使用戶能夠設置和監視測試過程、分析測量結果和生成報告。此外,軟件還包括優化測試過程的各種功能,包括自動回測試功能和自動引用功能。TENCOR CTC/FT/ FT-500/ FT-530非常適合用於需要精確、可重復測量半導體晶片的精確光學測試應用。該系統的自動化操作和可靠的設計使晶片能夠以高精度和可重復性進行可靠和可重復的測試。總體而言,CTC/FT/ FT-500/ FT-530是滿足晶圓測試和計量需求的完美解決方案。