二手 KLA / TENCOR D6 #9249608 待售

KLA/TENCOR D6晶片測試和計量設備是一種精確的自動化內容檢測和計量工具,旨在滿足5納米以下和下一代工藝的精度和吞吐量要求。它配備了先進的光學、先進的算法和自動化的控制-所有這些都建立在一個精密的平臺上,能夠對有陣列的半導體晶片進行快速、準確的測量。KLA D6滿足了對高級節點的所有要求,尤其是對於5 nm以下及以後的節點。它是目前市場上最先進的KLA晶片測試儀，能夠以極精細的精度測量納米級結構和缺陷。該系統還提供復雜的背面計量功能,可幫助檢測和測量各種特征,如叠加精度、紅線、孔徑大小、光刻通孔、抵抗開放等。在處理和吞吐量方面，該單元采用多光束掃描頭，頭部速率快，並采用先進的算法和光學手段，確保更高的精度和更快的測量速度。該機還配備了全自動晶圓索引器，以加快樣品裝卸過程。它還有一個高性能的檢測工具，它使用復雜的算法來量化元素如臨界線寬、抵抗寬度、抵抗輪廓等。該資產提供集成和數據分析功能,如配方創建、分析和編輯、用於查看和打印結果的報告功能,以及各種支持數據分析的軟件工具,如WTM （Wafer Test Matrix）,以最小的偏差達到準確的測量值。總體而言,TENCOR D6晶圓測試和計量模型為低於5納米及以上的工藝提供了業界領先的準確性和吞吐量,並已設計為滿足最苛刻的生產環境的需求。