二手 KLA / TENCOR eRanger 5200 #293621220 待售

KLA/TENCOR eRanger 5200是一種晶圓測試和計量設備，旨在為先進的半導體器件制造提供完整的過程控制。eRanger系統采用最新的半導體制造技術開發,旨在提供精確的晶圓厚度、形狀和輪廓測量,並具有高精度和重復性。該設備先進的光學設備和集成的微機電系統（MEMS）使其能夠在晶圓的正面和背面進行計量,並進行全面的區域掃描測量。eRanger在Flip芯片和Wirebond晶片上都具有自動測量功能。其先進的光學器件使它能夠以1微米的分辨率捕獲和測量軟和硬掩模，同時提供高達10微米的離子束圖像。機器的3D輪廓測量能力可以測量晶圓直徑和斜角、半徑曲率、輪輞和臺階，均為1微米分辨率。它還能夠測量和分析墊高和平整度參數，便於布局、計量和過程控制。該工具還能夠測量過程引起的缺陷，如金屬線寬、螺距和角半徑。其獨特的健壯工藝設計增強了晶圓控制，降低了顆粒添加和汙染的風險。高通量的8英寸光學資產與大多數晶圓工藝完全兼容,從而實現晶圓與樣品之間優化的視線測量。這使得eRanger模型能夠在測量周期內確保足夠且可重復的晶圓與樣品對齊和位置重復性。KLA eRanger 5200設備是尋求節省成本和減少半導體制造過程差異的企業的絕佳選擇。它堅固、易於操作，提供可靠、高精度的測量，在微米範圍內具有重復性和準確性。該系統積極降低汙染風險，為操作員提供舒適和符合人體工程學的操作。最後，它與大多數晶圓工藝的兼容性使得它成為任何半導體制造工廠的絕佳選擇。