二手 KLA / TENCOR eRanger 5200 #293625706 待售

KLA/TENCOR eRanger 5200是一種晶圓測試和計量設備，旨在提供快速準確的半導體器件分析和測量。該系統旨在快速、準確、重復地掃描和測量多達4英寸和200毫米晶圓。它可以測量各種各樣的參數，從基本的表面缺陷到復雜的輪廓、特性和過程。KLA eRanger 5200先進的成像技術提供了高分辨率的缺陷圖像和過程簽名，具有極高的精度和可重復性，以獲得最大的晶圓產量。TENCOR eRanger 5200構建在一個完全自動化的平臺上，無需人工處理晶圓。可以快速配置該單元以測量任意大小晶圓上的各種缺陷和過程。集成晶片盒可容納多達80個晶片,用於自動晶片加載,自動晶片映射可確保最高級別的可重復性。集成的機器人處理程序允許機器在執行測試和測量時快速準確地移動晶圓。ERanger 5200提供自動化和手動檢查功能,使工程師和操作員能夠更詳細地快速識別缺陷或處理簽名。自動檢查模式設置峰值測量和整理不合格的晶片，而手動模式則允許用戶調整參數並進行更詳細的檢查。該工具還具有在關鍵特征上的500 µm線寬分辨率,以及高點密度和特征覆蓋範圍。資產包括一系列旨在提高吞吐量和準確性的軟件應用程序。這包括用於測量晶圓共面的KLA Targetrunner Co-Planarity軟件,以及用於查看圖像、分析數據和生成報告的TENCOR Insight。KLA/TENCOR eRanger 5200還包括KLA/TENCOR GP-View軟件，用於自動滾動和縮放圖像，允許在分析缺陷時提供更多細節。總體而言，KLA eRanger 5200是一種先進的晶圓測試和計量模型，可以快速準確地識別和量化廣泛的過程和缺陷類型。其先進的成像和軟件功能使設備實現了卓越的重復性和精確度，減少了整體晶圓產量損失。