二手 KLA / TENCOR eRanger 5200 #9263058 待售

KLA/TENCOR eRanger 5200是一種下一代晶片測試和計量設備，被設計為測量晶片上薄膜厚度和光學材料的先進工具。該系統旨在提供超高分辨率、速度和準確性,同時確保高質量的結果。該單元基於混合半導體/計量平臺，包括固態激光掃描顯微鏡、光學顯微鏡、四探測器、X射線反射儀等先進計量技術。KLA eRanger 5200提供了廣泛的測量和分析功能，包括表面成像、光學表面特性、薄膜沈積/蝕刻、機器校準等等。它的非接觸式光學機器有移動鏡控制器和高分辨率成像儀，能夠進行高速測量，甚至在晶圓的邊緣。此外,X射線反射計還提供了一種獨特的材料表征解決方案,使操作員能夠在幾秒鐘內測量薄膜厚度和薄膜密度。TENCOR eRanger 5200的高級軟件包提供全面的功能,包括自動作業設置、自動過程蒙太林、晶圓圖編輯和統計過程控制。它還提供圖像分析和計算,以及高級統計數據處理程序。為了確保準確性，該工具已被證明具有高度可重復性和可追蹤的準確性。ERanger 5200還利用了四檢測資產,允許同時將四個晶圓集中到一個測量中。這樣可以縮短測試時間並提高吞吐量。該型號還具有靈活的晶片處理設備，可最大程度地兼容不同類型的晶片。KLA/TENCOR eRanger 5200的設計旨在通過改進晶圓測試和計量來提高工藝產量和產品質量。它結合了高分辨率成像和高級軟件功能,顯著提高了晶圓級測試能力,提供了可靠的結果並提高了過程可見性。可用於多種行業，如半導體、MEMS、LED、太陽能電池等。該系統靈活的體系結構還允許集成到現有的半導體過程中,從而實現更高的生產率。