二手 KLA / TENCOR F5 #9214704 待售

KLA/TENCOR F5是一種基於原子力顯微鏡的晶圓測試和計量設備，設計用於半導體器件的生產和開發。該系統為一系列晶圓織物和飾面的高通量測試和表征提供了一個可靠的平臺。它提供高分辨率、可重復和非接觸的晶圓特征測量,如厚度、表面地形、晶粒大小和擴散。該部門的集成軟件功能提供自動化的測量分析以及全面的數據管理和可視化功能。KLA F5機器由幾個組件組成，包括集成平臺硬件、AFM傳感器和控制軟件。集成硬件包括AFM頭、XY掃描級和精確的Z高度感測。該工具的高級AFM感官功能使其能夠掃描透明和不透明的表面,從而提供復雜、高分辨率的晶圓特征圖像,且精度很高。XY掃描階段允許資產快速穿越大面積的晶圓，而z高度感測精確定位AFM磁頭以捕獲數據。該模型的集成軟件控制程序提供了全面的自動化和數據管理能力。該軟件允許用戶輕松定義復雜的測試，自動獲取高度可重現的數據，並管理大型數據集以進行可靠的比較和統計分析。它還提供了功能強大的可視化工具,用於優化測試設計、評估數據和報告結果。TENCOR F5設備非常適合於分析半導體晶圓織物和工藝，如光致抗蝕劑圖案、介電氧化物蝕刻、擴散等。它還能夠監測制造工藝步驟，如光刻、薄膜沈積和掩模對準。這使得它成為過程評估和缺陷分析的理想解決方案。該系統提供高分辨率成像功能和可重復數據采集,從而能夠可靠地檢測和量化晶片上的缺陷,並實現優化的過程控制。它的自動化數據采集和分析功能可用於快速識別和表征缺陷並分析過程變化或設計修改的影響。